μPhase?系列干涉儀用于測量高精度要求的光學(xué)零件，材料包括玻璃、塑料、金屬、陶瓷等，非接觸式測量可保證在不傷害光學(xué)表面的前提下對光學(xué)表面及波前進行較精確的評價。
μPhase?系列干涉儀得益于該設(shè)備緊湊與模塊化的設(shè)計理念，使它們得到靈活、高效的使用。μPhase?系列干涉儀的各個組成部件相對獨立，相互兼容，可靈活組合成有針對性應(yīng)用的強大干涉計量系統(tǒng)。
 
  產(chǎn)品特點： 

• 模塊化設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊；
• 測量適用性強，保證可以在各種工作與生產(chǎn)環(huán)境中進行檢測；
• 可測量反射率0.3%-100%的光學(xué)表面，覆蓋范圍廣；
• 數(shù)字化測量，避免人為損壞；
• 完美的結(jié)構(gòu)，全面的軟件，為生產(chǎn)及實驗室提供支持；
• 獨一無二的的產(chǎn)品特點：泰曼格林型/菲索型組合或用于校準樣品的第二個相機，為μPhase系列干涉儀的使用提供了便利。

μPhase? SPHERO UP， μPhase? PLANO UP，μPhase? Plano Down

• 用于測量不同的平面和球面光學(xué)零件
• 結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間下，可靈活的與產(chǎn)線結(jié)合   
• 操作直觀而簡單，適合非專業(yè)人士操作
• 測量范圍：
  • μPhase? Plano Down：平面φ≤2 mm 至 150 mm；
  • μPhase? PLANO UP：平面φ≤2 mm 至 100 mm ；
  • μPhase? SPHERO UP：球面，曲率半徑（凸面）2mm ~225mm，直徑最大55mm ；球面，曲率半徑（凹面）-3mm~-570mm