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526675 產(chǎn)品規(guī)格書

產(chǎn)品信息

直線位移臺臺面寬度120mm 行程100mm 滾珠絲桿+直線導(dǎo)軌

產(chǎn)品編號：526675

產(chǎn)品描述

步進(jìn)電機(jī)平移臺適用于行程范圍在0-1000mm之間的各項應(yīng)用。它結(jié)構(gòu)堅固、性能卓越，廣泛應(yīng)用于各種精密的科研、工業(yè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)，其中包括半導(dǎo)體晶圓檢查、微電子裝置的測試和組裝、抓取與放置、DNA定序或激光加工。位移臺插電即用，控制器配備觸摸顯示屏方便調(diào)試與控制，接口豐富方便二次開發(fā)。

規(guī)格參數(shù)

行程 100mm

負(fù)載 20kg

分辨率 2.5μm

最小運(yùn)動增量 3μm

單向重復(fù)定位精度(保證值) ±1μm

單向重復(fù)定位精度(典型值) ±0.5μm

雙向重復(fù)定位精度(保證值) ±3μm

雙向重復(fù)定位精度(典型值) ±2μm

準(zhǔn)確度(保證值) ±12μm

準(zhǔn)確度(典型值) ±6μm

最大速度 40mm/s

使用場景 /

直線度 12μm

平整度 12μm

Yaw-偏擺 30″

Pitch-俯仰 30″

持續(xù)推力

峰值推力

重量 4.5kg

適配控制器 528251/528252/528254/528255/528256/528257/528264

關(guān)于產(chǎn)品

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