直線電機驅(qū)動平移臺適用于行程范圍在0-200mm之間的各項應(yīng)用。 它結(jié)構(gòu)堅固、性能卓越，廣泛應(yīng)用于各種精密的科研、工業(yè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)，其中包括 半導(dǎo)體晶圓檢查、微電子裝置的測試和組裝、抓取與放置、DNA定序或激光加工。 與絲杠驅(qū)動的平移臺不同，526669產(chǎn)品采用了中心驅(qū)動的高效3相同步無鐵芯直線電機作為驅(qū)動元件。 這種驅(qū)動系統(tǒng)不僅能以超靜音方式運行，還能提高系統(tǒng)的運行速度、加速度、響應(yīng)靈敏度等。 避免了電機電刷和傳動螺桿的磨損，無故障運行時間大于2萬小時。 內(nèi)部集成了高精度光柵尺作為位置反饋元件，控制器可對光柵尺信號進行插補以提高系統(tǒng)的定位靈敏度、重復(fù)定位精度和準確度。 位移臺插電即用，控制器配備觸摸顯示屏方便調(diào)試與控制，接口豐富方便二次開發(fā)。

產(chǎn)品特點
(1) 行程覆蓋：50mm、100mm、150mm與200mm。
(2) 堅固的臺身設(shè)計可確保以200mm×200mm的最大行程進行可靠的XY軸組裝。
(3) 高分辨率的光柵尺編碼器反饋能以亞微米的可重復(fù)定位精度進行精確 定位。
(4) 超靜音位移臺，適用于實驗室環(huán)境與高性能要求的工業(yè)場所。