直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)平移臺(tái)適用于行程范圍在0-200mm之間的各項(xiàng)應(yīng)用。 它結(jié)構(gòu)堅(jiān)固、性能卓越，廣泛應(yīng)用于各種精密的科研、工業(yè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)，其中包括 半導(dǎo)體晶圓檢查、微電子裝置的測試和組裝、抓取與放置、DNA定序或激光加工。 與絲杠驅(qū)動(dòng)的平移臺(tái)不同，526667產(chǎn)品采用了中心驅(qū)動(dòng)的高效3相同步無鐵芯直線電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)元件。 這種驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)不僅能以超靜音方式運(yùn)行，還能提高系統(tǒng)的運(yùn)行速度、加速度、響應(yīng)靈敏度等。 避免了電機(jī)電刷和傳動(dòng)螺桿的磨損，無故障運(yùn)行時(shí)間大于2萬小時(shí)。 內(nèi)部集成了高精度光柵尺作為位置反饋元件，控制器可對光柵尺信號(hào)進(jìn)行插補(bǔ)以提高系統(tǒng)的定位靈敏度、重復(fù)定位精度和準(zhǔn)確度。 位移臺(tái)插電即用，控制器配備觸摸顯示屏方便調(diào)試與控制，接口豐富方便二次開發(fā)。

產(chǎn)品特點(diǎn)
(1) 行程覆蓋：50mm、100mm、150mm與200mm。
(2) 堅(jiān)固的臺(tái)身設(shè)計(jì)可確保以200mm×200mm的最大行程進(jìn)行可靠的XY軸組裝。
(3) 高分辨率的光柵尺編碼器反饋能以亞微米的可重復(fù)定位精度進(jìn)行精確 定位。
(4) 超靜音位移臺(tái)，適用于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境與高性能要求的工業(yè)場所。