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526664 產(chǎn)品規(guī)格書(shū)

產(chǎn)品信息

直線位移臺(tái) 臺(tái)面寬度80mm 行程150mm 真空專(zhuān)用滾珠絲桿+直線導(dǎo)軌

產(chǎn)品編號(hào)：526664

產(chǎn)品描述

直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)平移臺(tái)適用于行程范圍在0-150mm之間的各項(xiàng)應(yīng)用。它結(jié)構(gòu)堅(jiān)固、性能卓越，廣泛應(yīng)用于各種精密的科研、工業(yè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)，其中包括半導(dǎo)體晶圓檢查、微電子裝置的測(cè)試和組裝、抓取與放置、DNA定序或激光加工。位移臺(tái)插電即用，控制器配備觸摸顯示屏方便調(diào)試與控制，接口豐富方便二次開(kāi)發(fā)。

產(chǎn)品特點(diǎn)
(1) 行程覆蓋：50mm、100mm與150mm。
(2) 堅(jiān)固的臺(tái)身設(shè)計(jì)可確保以150mm×150mm的最大行程進(jìn)行可靠的XY軸組裝。

規(guī)格參數(shù)

行程 150mm

負(fù)載 10kg

分辨率 0.625μm

最小運(yùn)動(dòng)增量 1μm

單向重復(fù)定位精度(保證值) ±1μm

單向重復(fù)定位精度(典型值) ?±0.5μm

雙向重復(fù)定位精度(保證值) ±3μm

雙向重復(fù)定位精度(典型值) ?±1.5μm

準(zhǔn)確度(保證值) ±15μm

準(zhǔn)確度(典型值) ?±8μm

最大速度 10mm/s

使用場(chǎng)景真空專(zhuān)用

直線度 15μm

平整度 15μm

Yaw-偏擺 30″

Pitch-俯仰 30″

持續(xù)推力 /

峰值推力 /

重量 4.8kg

適配控制器 528251/528252/528254/528255/528256/528257/528264

尺寸圖

關(guān)于產(chǎn)品

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