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526663 產(chǎn)品規(guī)格書

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526663 產(chǎn)品規(guī)格書

產(chǎn)品信息

直線位移臺臺面寬度80mm 行程100mm 真空專用滾珠絲桿+直線導(dǎo)軌

產(chǎn)品編號：526663

產(chǎn)品描述

直線電機(jī)驅(qū)動平移臺適用于行程范圍在0-150mm之間的各項應(yīng)用。它結(jié)構(gòu)堅固、性能卓越，廣泛應(yīng)用于各種精密的科研、工業(yè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)，其中包括半導(dǎo)體晶圓檢查、微電子裝置的測試和組裝、抓取與放置、DNA定序或激光加工。位移臺插電即用，控制器配備觸摸顯示屏方便調(diào)試與控制，接口豐富方便二次開發(fā)。

產(chǎn)品特點(diǎn)
(1) 行程覆蓋：50mm、100mm與150mm。
(2) 堅固的臺身設(shè)計可確保以150mm×150mm的最大行程進(jìn)行可靠的XY軸組裝。

規(guī)格參數(shù)

行程 100mm

負(fù)載 10kg

分辨率 0.625μm

最小運(yùn)動增量 1μm

單向重復(fù)定位精度(保證值) ±1μm

單向重復(fù)定位精度(典型值) ?±0.5μm

雙向重復(fù)定位精度(保證值) ±2.5μm

雙向重復(fù)定位精度(典型值) ?±1μm

準(zhǔn)確度(保證值) ±12μm

準(zhǔn)確度(典型值) ?±6μm

最大速度 10mm/s

使用場景真空專用

直線度 12μm

平整度 12μm

Yaw-偏擺 25″

Pitch-俯仰 25″

持續(xù)推力 /

峰值推力 /

重量 4.4kg

適配控制器 528251/528252/528254/528255/528256/528257/528264

尺寸圖

關(guān)于產(chǎn)品

1. 產(chǎn)品圖均為渲染效果圖，僅供參考。

2. 在購買夾持光學(xué)元件鏡架時，請確定元件的尺寸及厚度，確保匹配。

3. 采購光學(xué)平臺等產(chǎn)品，請聯(lián)系我們確認(rèn)搬運(yùn)及安裝事項。

4. 產(chǎn)品無質(zhì)量問題，退換郵費(fèi)需自行承擔(dān)，退回時保持產(chǎn)品外觀完好，性能無損傷，不影響二次銷售；如產(chǎn)品有質(zhì)量問題，請與我們聯(lián)系。

5. 聯(lián)合光科在您構(gòu)建光學(xué)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)的過程中提供標(biāo)準(zhǔn)的配套光機(jī)元件，保證您高精度的機(jī)械需求同時方便您使用過程中快捷的進(jìn)行元件的固定、替換和調(diào)整。我們也可根據(jù)您的需求進(jìn)行特殊尺寸和規(guī)格的定制服務(wù)。

聯(lián)合光科（上海）技術(shù)有限公司 · 一站式光學(xué)器件現(xiàn)貨供應(yīng)商

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