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516454 產(chǎn)品規(guī)格書

產(chǎn)品信息

氣浮型模塊式主動(dòng)減振器模塊尺寸369×388×188mm

產(chǎn)品編號(hào)：516454

產(chǎn)品描述

模塊式設(shè)計(jì)，能適用于更多需要安裝配置的場(chǎng)合，外置控制箱。支撐分為彈簧型和氣浮型，彈簧型主動(dòng)減振適用于顯微鏡、光學(xué)設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備等靜態(tài)設(shè)備。氣浮型主動(dòng)減振采用地面振動(dòng)前饋與反饋控制相結(jié)合，提供出色的隔振效果;運(yùn)動(dòng)前饋與速度反饋控制結(jié)合，有效消減平臺(tái)運(yùn)動(dòng)加速度，快速穩(wěn)定平臺(tái)振動(dòng)。適用于光刻機(jī)等運(yùn)動(dòng)平臺(tái)設(shè)備，消減大質(zhì)量滑塊運(yùn)動(dòng)帶來(lái)的振動(dòng)；半導(dǎo)體設(shè)備，及高精度、高速度加速度的精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)等。

規(guī)格參數(shù)

模塊尺寸 369×388×188mm

單個(gè)負(fù)載能力 700-1200kg

減振性能 —

傳遞率 ≤0db@2Hz,≤-0db@10Hz,≤-10db@20Hz

隔振范圍 —

減振器共振頻率垂向：10-14Hz,水平：4-6Hz

調(diào)平方式壓力伺服閥+位移傳感器

控制自由度 3軸6自由度

執(zhí)行器音圈電機(jī)

最大推力 —

穩(wěn)定時(shí)間 —

電源 AC220V/50Hz

安裝方式推薦等邊三角形、矩形布置

減振器工作氣壓 0.15-0.5MPa

機(jī)械硬限位水平浮動(dòng)±1.5mm,垂直浮動(dòng)±0.6mm

重量 75kg

關(guān)于產(chǎn)品

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