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516453 產(chǎn)品規(guī)格書
516453 產(chǎn)品規(guī)格書
產(chǎn)品信息
彈簧型模塊式主動(dòng)減振器 模塊尺寸800×200×117mm

產(chǎn)品編號(hào):516453
產(chǎn)品描述
模塊式設(shè)計(jì),能適用于更多需要安裝配置的場合,外置控制箱。支撐分為彈簧型和氣浮型,彈簧型主動(dòng)減振適用于顯微鏡、光學(xué)設(shè)備、檢測設(shè)備等靜態(tài)設(shè)備。氣浮型主動(dòng)減振采用地面振動(dòng)前饋與反饋控制相結(jié)合,提供出色的隔振效果;運(yùn)動(dòng)前饋與速度反饋控制結(jié)合,有效消減平臺(tái)運(yùn)動(dòng)加速度,快速穩(wěn)定平臺(tái)振動(dòng)。適用于光刻機(jī)等運(yùn)動(dòng)平臺(tái)設(shè)備,消減大質(zhì)量滑塊運(yùn)動(dòng)帶來的振動(dòng);半導(dǎo)體設(shè)備,及高精度、高速度加速度的精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)等。
規(guī)格參數(shù)
模塊尺寸 800×200×117mm
單個(gè)負(fù)載能力 400kg
減振性能 60%@2Hz,99%@10Hz
傳遞率
隔振范圍 1-1000Hz
減振器共振頻率
調(diào)平方式 手動(dòng)調(diào)平
控制自由度 3軸6自由度
執(zhí)行器 音圈電機(jī)
最大推力 垂向:6N,水平向:3N
穩(wěn)定時(shí)間 0.3s
電源 AC220V/50Hz
安裝方式 推薦兩端對(duì)稱、矩形布置
減振器工作氣壓
機(jī)械硬限位
重量 150kg
關(guān)于產(chǎn)品

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